פריצות דרך מדויקות וכיוונים עתידיים למכונות איסוף ומקום

כדי לטפל ב {{0}}. רכיבי 3 מ"מ-מגרש, מכונות מתקדמות משתמשות בקודדים לינאריים ברזולוציה גבוהה ופיצוי תרמי לדיוק ± 0.025 מ"מ. מגמות עתידיות כוללות מיקום ננו-סופי והדמיה רב-ספקטרלית לאריזות שבבים ויישומים מתקדמים.